Kluczowa różnica między analizą mikro i półmikroanalizą polega na tym, że mikroanaliza jest stosowana do analizy materiału o masie poniżej 10 mg, podczas gdy analiza półmikro jest używana do analizy materiału o masie około 100-500 mg.
Analiza mikro i półmikro to dwa rodzaje analizy jakościowej, czyli analiza materiału na podstawie ich właściwości, a nie ilości. Analiza mikro odnosi się do analizy materiału o rozmiarach cząstek w mikroskali. Do mikroanalizy można stosować różne metody. Z drugiej strony analiza semi-mikro to rozwinięta metoda analizy mikro.
